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1、美国诺发系统公司(Novellus Systems)于1984年成立于美国加州地区,是化学气体沉积、物理气体沉积、铜电镀、光阻与残留物处理等半导体制程设备制造商。
2、随着电路尺寸的持续缩小,採用诺发系统生产的薄膜沉积与表面处理设备的半导体生产商与日俱增。
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